王运飞
,
王岭
,
朱靖
,
戴磊
,
李跃华
,
周会珠
,
吴印林
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.15.002
采用溅射法制备的纳米结构CuO为敏感电极,钇稳定氧化锆(YSZ)为固体电解质制成了一种混合位型NO2传感器.采用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分别表征了CuO敏感电极的相组成和微观形貌.研究了Cu的不同溅射时间对CuO敏感电极微观结构及传感器敏感性能的影响.结果表明,CuO颗粒随着...
关键词:
溅射法
,
混合位型
,
NO2传感器
,
CuO纳米颗粒
,
YSZ
