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等离子体状态对PECVD SiC薄膜微结构的影响

王静静 , 廖波 , 刘维 , 王波 , 宋雪梅 , 严辉

功能材料

在PECVD法制备SiC薄膜过程中,深入研究了工作气压及工作气体中氢稀释比例对薄膜的影响,发现以上两个参数是通过共同调整等离子体状态的两个主要参数--等离子体成分及离子能量来起作用的.在此基础上,讨论了等离子体状态在SiC薄膜微结构从非晶转化为纳米晶过程中的作用,发现可以通过控制等离子体成分及离子能量来得到可用于场发射阴极的纳米晶SiC薄膜.

关键词: 工作气压 , 氢稀释度 , β-SiC , PECVD

AFM针尖耦合激光加工PMMA薄膜的加工重复性

周明 , 范晓萌 , 言峰 , 李健 , 王静静 , 蔡兰

材料科学与工程学报

利用飞秒激光与原子力显微镜的针尖部分耦合进行加工,是有望突破衍射极限,实现多隧道结加工的技术.本文在室温大气环境下,利用微焦级别脉宽为130fs、波长800nm的飞秒激光照射镀有金薄膜的原子力显微镜的探针针尖,使其耦合产生局域场加强效应在PMMA薄膜表面加工出光栅状纳米图形.通过最大残差法计算了条纹高度和宽度的重复性百分比,计算得到高度和宽度的最大残差值分别为6.3%和2.9%.结果表明在文中所提供的加工条件下,原子力显微镜针尖耦合激光是一种有潜力的激光加工方法.

关键词: 飞秒激光 , AFM , 纳米加工 , PMMA

成型方式对反应烧结碳化硼基复合材料性能的影响

王静静 , 林文松 , 杨国良 , 闫学增

硅酸盐通报

本文针对干压成型结合冷等静压成型对反应烧结碳化硼基复合材料样品性能的影响进行研究.考察了成型压力、保压时间、加压方式对压坯密度和强度的影响.结果表明:采用100 MPa干压2 min,再经过150 MPa冷等静压保压1 min,压坯密度由干压压制时最大密度1.86 g/cm3升高到1.96 g/cm3,压坯强度可达到2.0 MPa.保压时间和加压方式对压坯的密度、强度的影响不大.干压结合冷等静压相对于干压成型,在相同的烧结温度下样品性能有明显的提高,烧结后样品密度为2.44 g/cm3,显微硬度为2394 kg/cm2,三点抗弯强度为241 MPa.

关键词: 干压结合冷等静压成型 , 反应烧结 , B4C基复合材料 , 力学性能

反应烧结制备碳化硅-氮化铝复合材料

闫学增 , 吴晓 , 杨亚云 , 林文松 , 王静静

硅酸盐通报

采用硅作为熔渗剂,利用真空反应烧结的工艺,在1600℃烧结制得了结构致密、密度低的碳化硅-氮化铝(SiC/AlN)复合材料,分析测试了所制得的复合材料的物相、微观结构和力学性能.结果表明,氮化铝的添加量由2wt%增加到10wt%时,复合材料的力学性能出现先增加后减小的趋势,当AlN含量为6wt%时,得到复合材料的力学性能最高,其抗弯强度为256 MPa,显微硬度为2660 HV.加入AlN后,复合材料的孔隙率略微有点上升,烧结体的密度在2.95 ~3.01 g/cm3之间.复合材料的主要组成相为SiC、AlN和Si.

关键词: 氮化铝 , 碳化硅 , 反应烧结 , 熔渗

Ni-Nb及Ni-Cu系合金Fcc相的热容测定

郭菲 , 王静静 , 朱娜琼 , 鲁晓刚

上海金属

为了测定Ni-Nb及Ni-Cu系合金中fcc相的热容,制备了4个合金样品,分别是(原子分数)Ni-4% Nb、Ni-8% Nb、Ni-8% Cu和Ni-15% Cu,1 200℃保温7天后水淬得到fcc相.采用差示扫描热分析法(DSC)和高温量热仪(96lineMHTC)测得Ni-Nb及Ni-Cu系合金fcc相在100 ~1 250℃的热容.研究表明,试验测得的热客和利用热力学数据库计算得到的热容吻合度很高,但当温度低于400℃时,两者数据相差较大,故在低温区仍需补充试验.

关键词: Ni-Nb体系 , Ni-Cu体系 , fcc相 , 热容 , 差示扫描热分析法 , 高温量热仪

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