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交流电作用下Au薄膜热疲劳失效行为的研究

王鸣张滨刘常升张广平

金属学报 doi:10.3724/SP.J.1037.2010.00668

本文研究了交流电致循环热应变作用下200 nm厚Au薄膜的失效行为. 结合实验结果和理论计算, 确定了交流电作用下6 μm宽Au薄膜导线上的温度分布, 并由此确定了Au互连线在交流电作用下达到稳定状态后的循环热应变范围. 结果表明, 应变范围Δε≦0.35%, 经过5×10⁶ cyc热循环后, Au互连线中的晶粒出现不同程度的增长, 晶界损伤导致Au互连线的最终失效. 对Au薄膜热疲劳、机械疲劳失效行为及其机制进行了分析.

关键词: Au薄膜 , alternating current , thermal fatigue