刘丽
,
张彤
,
王连元
,
田云霞
,
范会涛
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.06.016
设计了一种新型的共平面微结构气体传感器,利用MEMS技术制作了传感器样品.实验测得该传感器对于体积分数为50×10~(-6)CO气体的灵敏度为8.6(R0/R),功耗为82mW,响应时间约5s,恢复时间约22s,该传感器的灵敏度是同种敏感材料烧结型传感器(测体积分数50×10~(-6) CO气体)的2.5倍,而功耗却是同种敏感材料烧结型传感器的1/2,是一种具备了体积小、重量轻、功耗低、灵敏度高、便于与其它器件集成等特点,而且制作工艺简单,成本较低的微结构CO气体传感器.
关键词:
低功耗
,
微结构
,
CO
,
气体传感器
田云霞
,
徐莹
,
王新
膜科学与技术
doi:10.3969/j.issn.1007-8924.2009.06.009
采用苯胺(An)分散聚合原位成膜的方法对等离子体预处理的聚四氟乙烯(PTFE)多孔膜进行亲水化改性,实验通过SEM、接触角测量等表征了PTFE膜的结构和表面亲水性质.试验结果表明,FTFE膜表面是内部留有孔道的纤维交织结构,有较强的疏水性;等离子体处理使聚合峰值提前,后期聚合速率增大,有利于An在PTFE膜的表面聚合沉积.接触角测试表明PANI/PTFE复合膜比原始膜的亲水性有了较好的改观.
关键词:
聚四氟乙烯
,
聚苯胺
,
等离子体处理
,
亲水性
