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辛基三甲氧基硅烷改性SiO2疏水减反膜的制备

牛彦彦 , 王晓栋 , 姚兰芳 , 田冰涛 , 冯建斌 , 曹媛媛 , 张清华 , 沈军

无机材料学报 doi:10.15541/jim20150490

以正硅酸乙酯为前驱体,氨水为催化剂制备标准SiO2溶胶,然后在回流前后分别对普通SiO2溶胶添加适量的辛基三甲氧基硅烷(OTMS)进行修饰,得到OTMS改性SiO2溶胶.用未进行OTMS修饰、回流前修饰和回流后修饰的溶胶分别制备减反膜,并使用傅里叶变换红外光谱仪、核磁共振波谱仪、紫外-可见-近红外分光光度计、原子力显微镜和接触角测试仪对薄膜的结构和性能进行表征.结果表明:回流前添加OTMS修饰剂制备的改性SiO2减反膜具有最优异的耐潮湿环境稳定性能,最高透过率可达99.7%以上;与水的接触角达到120°,在潮湿环境中放置4w后,透过率只下降0.23%.

关键词: 溶胶-凝胶 , 减反膜 , 辛基三甲氧基硅烷

低温制备防潮耐真空污染二氧化硅减反膜

牛彦彦 , 姚兰芳 , 王晓栋 , 田冰涛 , 沈军

低温物理学报

采用溶胶-凝胶法,以正硅酸乙酯为前驱体,氨水为催化剂,通过六甲基二硅氮烷(HMDS)对溶胶改性,使用提拉法镀膜,并经过低温热处理制备了具有良好防潮抗真空性能的SiO2减反膜.对薄膜的防潮性能、水接触角、真空抗污染能力、结构等进行了测试表征.结果表明:掺HMDS的溶胶制备的二氧化硅膜层峰值透过率为99.7%;水接触角可达154°;在相对湿度大于90%的环境中保存7天和在二甲基硅油作为污染源的真空环境中放置30天,透过率仅分别下降0.05%和0.35%,防潮耐真空稳定性较未改性薄膜都得到极大提高.

关键词: 溶胶-凝胶 , 减反膜 , 光学稳定性

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