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SAW器件用金刚石基c轴取向LiNbO3压电薄膜的制备

王新昌 , 田四方 , 贾建峰 , 王前进

材料科学与工程学报

采用脉冲激光沉积技术,在以c轴取向ZnO作为缓冲层的金刚石/硅基底上制备出了结晶良好的高c轴取向LiNbO3薄膜.利用X射线衍射对薄膜的结晶质量和c轴取向性进行了研究,结果表明制得的LiNbO3薄膜具有高度c轴取向且结晶质量良好.采用扫描电子显微镜和原子力显微镜对薄膜的表面形貌进行了分析,发现薄膜表面光滑,晶粒尺寸均匀,薄膜表面粗糙度约为20nm.

关键词: LiNbO3压电薄膜 , 金刚石/硅基底 , 脉冲激光沉积