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InGaAs/InAlAs异质结的H3PO4/H2O2系的湿法腐蚀

田招兵 , 张永刚 , 李爱珍 , 顾溢

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.04.012

采用了H3PO4/H2O2系化学腐蚀液对GSMBE外延的InGaAs/InP和InAIAs/InP材料湿法腐蚀特性进行了研究,研究了不同浓度和配比对于腐蚀速率和形貌影响.结果表明该腐蚀液体系具有良好的均匀性,腐蚀速率随浓度呈指数关系,表面形貌基本不受浓度影响.在增加腐蚀液中双氧水含量时,腐蚀速率先增...

关键词: InGaAs/InAlAs , 湿法腐蚀 , 异质结