朱嘉琦
,
卢佳
,
田桂
,
檀满林
,
耿达
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2008.01064
以固态掺杂方式利用过滤阴极真空电弧技术制备掺硼非晶金刚石薄膜, 获得性能优良的宽带隙p型半导体材料, 再利用等离子增强化学气相沉积技术制备p-i-n结构非晶硅太阳电池的本征层和n型层, 最终制成以掺硼非晶金刚石薄膜为窗口层的非晶硅太阳电池. 利用Lambda950紫外-可见光分光光度计表征薄膜的光学...
关键词:
非晶金刚石薄膜
,
amorphous silicon solar cells
,
doping
,
conversion efficiency
朱嘉琦
,
卢佳
,
田桂
,
檀满林
,
耿达
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2008.05.040
以固态掺杂方式利用过滤阴极真空电弧技术制备掺硼非晶金刚石薄膜,获得性能优良的宽带隙p型半导体材料,再利用等离子增强化学气相沉积技术制备p-i-n结构非晶硅人阳电池的本征层和n型层,最终制成以掺硼非晶金刚石薄膜为窗口层的非晶硅人阳电池.利用Lambda950紫外-可见光分光光度计表征薄膜的光学带隙,并...
关键词:
非晶金刚石薄膜
,
非晶硅太阳电池
,
p型掺杂
,
转化效率
