田永尚
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公衍生
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李兆营
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江峰
稀有金属材料与工程
采用TG-DSC分析了IrO2与SrCO3、BaCO3的固相反应过程,探讨了不同温度、不同比例和二次煅烧等合成工艺参数对SrIrO3、BaIrO3物相的影响,得到了纯的SrIrO3、BaIrO3复合氧化物粉体的最佳合成条件.在此基础上,采用放电等离子烧结(SPS)技术制备了结晶度良好、高致密度的SrIrO3、BaIrO3复合氧化物陶瓷.
关键词:
AIrO3(A=Sr,Ba)
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粉体
,
可控合成
,
放电等离子烧结
李兆营
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公衍生
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田永尚
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江峰
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张志龙
电镀与涂饰
在不同沉积温度(25 ～ 400℃)下,利用射频磁控溅射技术在S i(100)基底上制备了TiN薄膜.采用X射线衍射仪和原子力显微镜研究了沉积温度对膜结构和表面形貌的影响,计算了晶面间距和晶格常数,分析了薄膜的应力性质.实验结果表明,不同沉积温度下制备的TiN薄膜主要含有(111)和(220)两种取向,以(220)为择优取向;随着温度的升高,薄膜晶化质量先提高然后趋于稳定.薄膜内应力为压应力,且随温度的升高而有所增大.随沉积温度升高,薄膜晶粒尺寸变小,表面结构更加均匀致密.
关键词:
氮化钛
,
薄膜
,
射频磁控溅射
,
沉积温度
,
微观结构
,
表面形貌
