材料期刊网

氧化铝薄膜对硫钝化InP材料光学稳定性的影响

田珊珊 , 魏志鹏 , 赵海峰 , 高娴 , 方铉 , 唐吉龙 , 楚学影 , 方芳 , 李金华

材料导报

利用原子层沉积法(ALD)在硫钝化后的n型InP表面沉积Al2 O3薄膜进行二次钝化处理.通过光致发光(PL)测试和原子力显微镜(AFM)测试对样品的光学性质及表面形貌进行表征.硫钝化能够有效降低样品的表面态密度及无辐射复合几率,因此样品PL发光强度得到了极大提高.而样品表面的Al2 O3可防止钝化...

关键词: InP , 光致发光 , 硫钝化 , 表面态密度 , Al2O3薄膜