郝晓涛
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张德恒
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马瑾
,
杨莺歌
,
王卿璞
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程传福
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田茂华
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马洪磊
功能材料
回顾和评述了柔性衬底氧化物透明导电膜(包括锡掺杂的三氧化二ITO薄膜、铝掺杂的氧化锌AZO薄膜等)的研究进展情况.报道了在柔性衬底上制备的ITO膜、ZnO膜的光电性质对衬底种类、制备工艺以及制备参数的依赖关系,给出了在此领域内应进一步进行的工作.
关键词:
柔性衬底
,
氧化物半导体
,
透明导电膜
郝晓涛
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马瑾
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田茂华
,
王卿璞
,
马洪磊
,
叶丽娜
,
陈峰
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.01.003
室温下采用射频磁控溅射法在有机薄膜-聚丙烯己二酯(polypropyleneadipate,PPA)衬底上制备出了ZnO:Al(AZO)透明导电膜.其它制备参数保持不变的条件下通过改变淀积时间得到厚度不同的薄膜,并对不同厚度AZO薄膜的结构特性、光学特性和电学特性进行了研究.
关键词:
透明导电膜
,
AZO薄膜
,
柔性衬底
