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检索条件:作者=田霞  

  • 论文(2)

Al/GaN/Al2O3微纳米多层结构界面热阻实验重构

王照亮 , 田霞 , 姚贵策 , 祝捷 , 唐大伟

工程热物理学报

通过GaN基微纳米器件中纳米尺度界面的热输运成为微系统热管理和热设计的热点和难点,而通过GaN/Al2O3之间界面热阻尚未测试.首先采用双波长TDTR方法测量了Al膜与GaN薄膜之间的界面热阻,然后借助热阻抗网络和参数敏感性分析,利用宽频3ω法对A/lGaN/Al2O3多层薄膜结构内部界面热阻进行实...

关键词: 微纳米结构 , 界面热阻 , 双波长TDTR , 宽频3ω法