邱成军
,
曹茂盛
,
张辉军
,
刘红梅
,
田风军
,
刘鑫
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2005.10.009
利用交流磁控溅射设备采用金属Ti靶在石英和硅衬底制备掺银TiO2薄膜,并利用SEM,XRD及吸收光谱等方法分析测试TiO2薄膜的性质,探讨了掺银对TiO2薄膜吸收光谱的影响.并通过对甲基橙溶液浓度变化研究了掺银TiO2薄膜光催化特性,分析了掺银对TiO2薄膜增强光催化作用的工作机理,研究结果表明掺银有利于TiO2薄膜对有机物的降解作用.
关键词:
薄膜
,
锐钛矿相
,
射频磁控溅射
,
光催化活性