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溶胶-凝胶法与磁控溅射法制备ZnO薄膜性能对比研究

李海峰 , 沈长斌 , 薛钰芝 , 李剑峰 , 申琳

材料导报

分别采用溶胶-凝胶(Sol-gel)法和射频(RF)反应磁控溅射法在普通玻璃片上制备出ZnO薄膜,利用X射线衍射、扫描电子显微镜、分光光度计、台阶仪等检测手段分别对其进行了分析比较.结果表明:相同基底和退火温度下,RF磁控溅射法制备的ZnO薄膜具有更优异的晶化质量;在波长390～850nm范围内的透...

关键词: 溶胶-凝胶法 , 射频磁控溅射 , ZnO薄膜