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GaN微米片的制备及性能研究

余春燕 , 翟化松 , 申艳强

人工晶体学报

通过采用化学气相沉积法(CVD),以金属Ga和NH3为原料,在Si (100)衬底和蓝宝石衬底上采用催化剂Ni合成了GaN微米片.利用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、X-ray能谱仪(EDS)、光致发光谱(PL)和霍尔效应测试仪(HMS-3000)对样品进行表征.结果表明...

关键词: GaN微米片 , Si衬底 , 蓝宝石衬底 , 化学气相沉积