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Cu-Zr/ZrN薄膜体系的电阻率和纳米压入研究

白宣羽 , 汪渊 , 徐可为

稀有金属材料与工程

采用磁控溅射方法在Si(111)基片上沉积Cu-Zr/ZrN薄膜体系作为扩散阻挡层.通过比较Cu-Zr/ZrN薄膜体系和三元非晶(Mo,Ta,W)-Si-N的电阻率,同时比较Cu-Zr/ZrN薄膜体系和Ta,YaN的硬度,说明作为扩散阻挡层的材料的选取,应从整体性能上考虑,而不能仅仅考虑热稳定性等单一指标.

关键词: 非晶 , 电阻率 , 纳米压入 , 硬度