皋华敏
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李铁
,
许磊
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刘翔
,
王翊
,
周萍
,
王跃林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.02.008
设计制作了一种基于静电力驱动的数字微流芯片.通过优化芯片的结构,采用硅为衬底,TiW/Au为微电极阵列,较薄的氮化硅和碳氟聚合物为介质层和疏水膜层,驱动电压大为降低.目前已成功实现了在30V的驱动电压下,对去离子水液滴的两维驱动,液滴移动速度可达96mm/s,同时也实现了对0.9%质量浓度NaCl溶液液滴的驱动.分析结果验证了液滴是在静电力的作用下实现移动.
关键词:
数字微流芯片
,
静电力
,
液滴
