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通过光学显微镜、扫描电镜和X射线衍射研究了Mg-8Li-5Zn-2Re合金热变形过程中组织和织构的演变.Mg-8Li-5Zn-2Re合金热挤压后,α相平行挤压方向伸长呈变形结构.在热压缩过程中随着温度的升高,α相转变为β相.在热挤压过程中,β相产生了{001}＜110＞和{110}＜110＞织构,而...

关键词: Mg-8Li-5Zn-2Re合金 , 热压缩 , 热挤压 , 动态再结晶 , 织构

挤压Mg-Li-Zn-Ce-Y-Zr合金的热变形行为

陈昭运 , 余春 , 李志强 , 盖登宇

稀有金属材料与工程

在温度T=250～450℃,应变速率为0.001～10 s-1的条件下,利用Gleeble-3500热模拟试验机对挤压Mg-7.8%Li-4.6%Zn-0.96%Ce-0.85%Y-0.30Zr合金进行高温热压缩试验,分析流变应力曲线特点.合金的流变应力曲线表现出动态再结晶特征,动态再结晶是热变形过...

关键词: Mg-Li合金 , 热变形 , 流变应力 , 动态再结晶

Zr层插入对Ta-N扩散阻挡性能的影响

丁明惠 , 张丽丽 , 盖登宇 , 王颖

稀有金属材料与工程

在不同的沉积温度下,用射频反应磁控溅射方法在Si(100)衬底和Cu膜间制备Ta-N/Zr阻挡层,研究Zr层的插入对Ta-N扩散阻挡性能的影响.结果表明:不同沉积温度下制备的Ta-N均为非晶态结构;Zr层的插入使Ta-N阻挡层的失效温度至少提高100℃,在800℃仍能有效地阻止Cu的扩散.阻挡性能提...

关键词: Ta-N/Zr薄膜 , 扩散阻挡层 , Cu互连 , 射频反应磁控溅射

Cu互连中Ta-Si-N/Zr阻挡层热稳定性的研究

丁明惠 , 毛永军 , 王本力 , 盖登宇 , 郑玉峰

稀有金属材料与工程

用射频反应磁控溅射的方法在Si(100)衬底和Cu膜间制备Ta-Si-N(10 nm)/Zr(20 nm)双层结构的扩散阻挡层.Cu/Ta-Si-N/Zr/Si样品在高纯氮气的保护下从600至800℃退火1 h.通过四探针电阻测试仪(FPP)、SEM、XRD和AES研究Cu/Ta-Si-N/Zr/S...

关键词: Ta-Si-N/Zr , 扩散阻挡层 , Cu互连 , 射频反应磁控溅射

超薄纳米晶Zr-N扩散阻挡性能及其热稳定性的研究

丁明惠 , 张丽丽 , 盖登宇 , 王颖

功能材料

用射频反应磁控溅射的方法在Si(100)衬底和Cu膜间制备了25nm的纳米晶Zr-N阻挡层,Cu/Zr-N/Si样品在高纯氮气保护下退火至700℃.用四探针电阻测试仪(FPP)、AFM、SEM、XRD、AES研究了溅射参数对Zr-N薄膜电阻率和扩散阻挡性能的影响.实验结果表明,N2分压从20%增加到...

关键词: Zr-N纳米晶 , 扩散阻挡层 , Cu互连 , 射频反应磁控溅射