苏芳臣
,
高超
,
相颖杰
,
陈建均
上海金属
利用化学气相沉积(CVD)技术制备6.5％Si钢时,Fe/Si合金互扩散行为对于工业化生产时控制硅的扩散起着至关重要的作用.采用CVD技术,通过控制扩散温度的变化,制备了一系列硅含量3.1％和14.3％的Fe/Si合金扩散偶.利用扫描电子显微镜观测了Fe/Si合金的互扩散结果,获得了不同扩散温度下的...
关键词:
Fe/Si合金
,
互扩散系数
,
激活能
,
频率因子
王清
,
陈建钧
,
相颖杰
,
厚康
,
何丹
表面技术
doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.10.011
目的：研究基于缝式喷嘴的SiCl4和N2混合气体的喷射工艺参数对CVD法制备6.5%Si钢渗硅速率的影响。方法采用不同的反应温度、SiCl4气体体积分数、混合气体流量进行渗硅实验,通过扫描电镜、能谱分析、失重比研究这3个参数对渗硅速率的影响,并对比分析喷嘴喷射反应气体和均匀气氛对渗硅速率的影响。结果...
关键词:
缝式喷嘴
,
高硅钢
,
渗硅速率
,
反应温度
,
SiCl4 气体浓度
,
气体流量
