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双离子束溅射制备非晶SiOxNy薄膜的强黄光发射

瞿发俊 , 徐华 , 吴雪梅 , 诸葛兰剑

功能材料

用双离子束溅射法制备了SiOxNy薄膜,并对薄膜的结构和光致发光(PL)性质进行了研究.XRD和TEM的实验结果表明薄膜是非晶结构;用XPS对样品进行了表征,在397.8eV位置处出现一个对应于N1s的对称峰,表明样品中的N原子主要与Si原子结合,FTIR的实验结果也说明了这一点.光吸收测量结果显示...

关键词: 硅氮氧薄膜 , 光学带隙 , 光致发光(PL)