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直接感光法制备钛酸锶钡图形化薄膜及其性能研究

张卫华 , 袁媛 , 石春梅 , 赵高扬

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00886

采用改进的化学修饰的溶胶-凝胶工艺, 以聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为薄膜开裂抑制剂, 以乙酰丙酮为化学修饰剂, 利用乙酰丙酮可以与金属盐形成的配位螯合物的特性, 制备了具有紫外光感光特性的钛酸锶钡(Ba_0.8Sr_0.2TiO₃)前驱溶胶及其凝胶薄膜; 结合直接感光法, 首先制备图形化凝胶薄膜, 再通过后续热处理, 在Pt/TiO₂/SiO₂/Si衬底上最终得到了具有钙钛矿结构的钛酸锶钡图形化薄膜, 其图形厚度约为793nm, 相对介电常数约为600, 介电损耗约为0.03.

关键词: BST薄膜 , photosensitivity , fine patterning , sol-gel process

直接感光法制备钛酸锶钡图形化薄膜及其性能研究

张卫华 , 袁媛 , 石春梅 , 赵高扬

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2008.05.005

采用改进的化学修饰的溶胶-凝胶工艺,以聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为薄膜开裂抑制剂,以乙酰丙酮为化学修饰剂,利用乙酰丙酮可以与金属盐形成的配位螯合物的特性,制备了具有紫外光感光特性的钛酸锶钡(Bao.8Sr0.2TiO3)前驱溶胶及其凝胶薄膜;结合直接感光法,首先制备图形化凝胶薄膜,再通过后续热处理,在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上最终得到了具有钙钛矿结构的钛酸锶钡图形化薄膜,其图形厚度约为793nm,相对介电常数约为600,介电损耗约为0.03.

关键词: BST薄膜 , 感光性 , 微细图形 , 溶胶.凝胶工艺

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