石瑛
,
付德君
,
林玲
,
蒋昌忠
,
范湘军
功能材料
在(0001)面的蓝宝石衬底上用MOCVD法生长纤锌矿结构的GaN.GaN膜总厚度为4μm,表层为0.5μm厚的掺Mg的p型层.用90keV的Mn+离子对处于室温下的GaN进行离子注入,注入剂量为1×1015～5×1016ions/cm2.对注入的样品在N2气流中经约800℃进行快速热退火处理,时间...
关键词:
GaN
,
离子注入
,
磁性
李鸿渐
,
石瑛
,
赵世荣
,
何庆尧
,
蒋昌忠
功能材料
对p-GaN/Ni/Au(5/10nm)界面处进行Pt+注入,注入后的样品在空气中快速热退火处理5min,发现金属电极和p-GaN的欧姆接触特性得到明显的改善,接触电阻率从101-Ω·cm2数量级降低到10-3Ω·cm2数量级.通过研究在不同Pt+注入剂量(5×1015、1×1016、2×1014c...
关键词:
p-GaN
,
欧姆接触
,
离子注入
,
退火
任峰
,
蒋昌忠
,
张丽
,
石瑛
,
付强
功能材料
具有核壳结构的纳米颗粒由于它独特的性质已经成为目前材料科学研究的热点.本文介绍用离子注入并退火的方法制备核壳结构的纳米颗粒.Ag/Cu离子以1:3的剂量比先后注入到非晶SiO2中形成了Ag-Cu合金纳米颗粒.当样品在还原气氛中600℃退火后,光学吸收谱在400nm附近出现了一个新峰,透射电子显微镜(...
关键词:
离子注入
,
纳米复合材料
,
核壳结构
陈海波
,
蒋昌忠
,
石瑛
,
付强
功能材料
采用由金属蒸汽真空弧离子源(MEVVA)引出的强束流脉冲Ag、Cu离子,先后注入到SiO2玻璃.注入的剂量均为5×1016ions/cm2,Ag的加速电压为43kV,Cu的加速电压为30kV.光学吸收谱显示吸收峰的位置在442nm,可以推测Ag、Cu在SiO2玻璃表层形成了纳米合金.借助X射线光电子...
关键词:
金属离子注入
,
光学透射率
,
纳米颗粒
,
表面等离子体共振吸收
,
XPS
石瑛
,
蒋昌忠
,
付强
,
范湘军
功能材料
在(0001)面的蓝宝石衬底上用低压MOCVD法生长p型GaN外延层.对p型GaN薄膜用180keV的Mn+离子注入进行磁性粒子掺杂,注入时GaN薄膜处于300℃,注入剂量分别为5.0×1015、1.0×1016和5.0×1016cm-2.对注入的样品在N2气流中进行快速热退火处理,温度为850℃,...
关键词:
GaN
,
离子注入
,
注入剂量
,
铁磁性
李鸿渐
,
石瑛
,
赵世荣
,
何庆尧
,
蒋昌忠
功能材料
首次采用离子注入工艺研究金属电极和p-GaN的欧姆接触特性.Zn为Ⅱ族元素,可以提高p-GaN表面的栽流子浓度,对p-GaN/Ni/Au(5/10nm)界面处进行Zn+注入.经Zn+注入后的样品在空气氛围中快速热退火处理5min,以减少离子注入带来的晶格损伤.研究发现Zn+注入改善了p-GaN/Ni...
关键词:
p-GaN
,
欧姆接触
,
离子注入
,
退火
张丽
,
蒋昌忠
,
任峰
,
石瑛
,
付强
功能材料
采用MEVVA源(metal vapor vacuum arcion source)引出的强束流脉冲Ag离子注入到SiO2玻璃,通过电镜观察和分析纳米颗粒的形貌和结构,从电镜照片可知样品中形成了大致呈球形的Ag纳米颗粒.将样品在氧化(空气)和还原(80%N2+20%H2)气氛下退火,由所测光谱曲线看...
关键词:
离子注入
,
纳米颗粒
,
退火
,
光学吸收
