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应力对薄膜结构与性能影响的研究现状

冉春华 , 金义栋 , 祝闻 , 聂朝胤

材料导报

产生薄膜应力是在沉积薄膜过程中普遍存在的现象.薄膜应力的存在将影响薄膜的微观结构和性能,如薄膜的光学、力学等物理性能.同时影响到薄膜与基体材料的结合度以及基体材料的基本性能.主要总结了薄膜应力的产生机理、测试方法及其对薄膜结构和性能的影响,同时对薄膜应力的有效控制提出了展望.

关键词: 薄膜应力 , 薄膜结构 , 薄膜性能

掺Ti量对类金刚石薄膜机械性能的影响

祝闻 , 冉春华 , 金义栋 , 聂朝胤 , 王振林

表面技术

采用非平衡磁控溅射技术,通过改变Ti靶溅射电流,在不锈钢衬底表面沉积了不同掺Ti量的类金刚石薄膜(Ti-DLC),研究了掺Ti量对薄膜的显微硬度、弹性模量、膜/基结合强度、断裂韧性及摩擦磨损行为的影响.结果表明:DLC薄膜掺杂Ti后,硬度明显提高,且随着Ti靶溅射电流的增大,薄膜硬度先增加、后降低,...

关键词: 非平衡磁控溅射 , 掺Ti类金刚石薄膜 , 结合强度 , 摩擦磨损性能

铝合金钛锆转化膜槽液消耗规律的研究

廖忠淼 , 李文芳 , 穆松林 , 祝闻

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.01.009

目的 在前期研制的新型铝合金表面钛锆转化膜工艺配方的基础上,进一步探索该新型工艺配方在连续使用过程中的消耗规律.方法 通过在连续使用过程中对转化液中主要金属离子(钛、锆、M等)的含量测定分析,找出该成膜剂的消耗规律.采用电化学工作站和SEM对槽液连续使用过程中膜层的耐蚀性能及微观形貌进行表征.结果 ...

关键词: 铝合金 , 钛锆转化膜 , 消耗规律 , 耐蚀性能 , 微观形貌 , 电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP-AES)

铝合金钛锆转化处理过程中铝离子的影响及消除

廖忠淼 , 李文芳 , 穆松林 , 祝闻 , 石裕同 , 戚鹏飞

电镀与涂饰

探讨了转化液中铝离子含量对钛锆转化膜性能的影响.采用扫描电镜和能谱仪表征了膜层的微观形貌和成分,并用极化曲线和硫酸铜点滴腐蚀试验评价了其耐蚀性.结果表明:当转化液中铝离子质量浓度为60 mg/L时,所得膜层的形貌最平整致密,耐蚀性最好.但当铝离子质量浓度达到90 mg/L时,膜层表面开始出现“蚀坑”...

关键词: 铝合金 , 钛锆转化膜 , 铝离子 , 耐蚀性 , 微观形貌 , 氟化钠 , 去除

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