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退火工艺对二氧化钛薄膜光催化性能的影响

张哲朋 , 禹彪 , 周晨露 , 范海波 , 郑新亮 , 姚合宝

稀有金属材料与工程

利用磁控溅射法制备得到二氧化钛薄膜,将薄膜在高温管式炉中分别进行退火,利用XRD、AFM和紫外-可见光谱仪研究了不同温度下退火前后薄膜的晶相结构、光学性能和光催化性能.结果表明,随着退火温度的升高二氧化钛的晶相由锐钛矿向金红石转变,600℃时为两相共存,表面颗粒大小也会有相应变化,锐钛矿相表现出了更好的光催化性能.

关键词: TiO2薄膜 , 光催化 , 退火 , 锐钛矿 , 金红石