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Si-Al-Si复合薄膜的制备及电化学性能研究

方茜 , 黄峰 , 陈江风 , 秦宇

材料导报

采用磁控溅射法,通过控制其中Si薄膜的溅射时间,在铜箔集流体上沉积了4种不同Si厚度的Si-Al-Si夹层结构复合薄膜.采用原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)以及能谱仪(EDS)分析样品表面形貌和结构.采用恒电流充放电和慢循环伏安等方法研究了复合薄膜作为锂二次电池负极材料的电化学性能....

关键词: 磁控溅射 , Si-Al-Si薄膜 , 锂离子电池 , 负极材料