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基于朗缪尔探针的硅离子空间分布特性及纳米晶粒生长过程研究

邓泽超 , 刘海燕 , 张晓龙 , 褚立志 , 丁学成 , 秦爱丽 , 王英龙

人工晶体学报

在室温、10 Pa氩气环境气体中,采用脉冲激光烧蚀技术,在以烧蚀点为圆心、半径为2 cm的玻璃弧形支架的不同角度处放置衬底,沉积了纳米Si晶薄膜.通过扫描电子显微镜、拉曼散射仪对制备样品的形貌和特性进行分析.结果表明:纳米Si晶粒以羽辉轴线为轴呈对称分布,在轴线处平均尺寸最大,随着衬底同轴线夹角的增...

关键词: 纳米Si晶薄膜 , 脉冲激光烧蚀 , 空间分布 , 朗缪尔探针