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高品质镍铬系合金靶材的设计与制备研究

黄超然 , 吴波 , 刘海龙 , 王敏 , 程国龙 , 魏文新

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2013.01.007

Ni-Cr系合金靶材在溅射镀膜工业中应用广泛,结合材料计算模拟和少量关键实验,定量化地研究了Ni-Cr系合金材料在热处理过程的相结构、相转变和显微组织特征,以及离子束溅射中入射离子与Ni-Cr系合金靶材固体之间的相互作用,考察了溅射镀膜工艺中的影响因素,确定了离子束溅射的最佳工艺条件.通过真空感应悬浮熔炼技术,获得纯净、均匀的合金锭,结合相图分析,确定了一系列合金的热处理工艺,采用金相显微镜、扫描电子显微镜、能谱分析仪和X射线衍射分析仪,分析了合金试样的显微组织和物相结构.结果表明:Ni-Cr系合金的微观组织和微区成分对热处理工艺较为敏感,在1000~1200℃的范围内,BCC相中Ni元素的原子含量从5%变为30%.提出了适宜的均匀化热处理工艺,以便获得组织和成分比较均匀的高品质Ni-Cr系合金靶材.当Ni元素的原子含量在20%~ 70%时,均匀化热处理在1200~1300℃之间比较适宜,而均匀化退火时间随退火温度的选取高低而不同,在2~24h的范围内变动.基于随机级联碰撞理论和蒙特卡洛方法,对离子束溅射中入射离子与Ni-Cr系合金靶材固体之间的相互作用进行模拟的结果表明,由于Ni和Cr的原子表面能较为接近,Ni-Cr系合金靶材的溅射产物成分与靶材成分不发生明显偏差,有利于靶材成分的选择和薄膜成分的控制.

关键词: Ni-Cr系溅射靶材 , 显微组织 , 均匀性 , 离子束溅射 , 材料设计与模拟

毛坪铅锌矿水平矿柱形成与回采方法试验研究及应用

程国龙 , 乔登攀 , 王俊 , 马卓宇 , 黄灏 , 沐兴旺

黄金 doi:10.11792/hj20170210

毛坪铅锌矿采用下向水平分层矩形进路式胶结充填采矿法,在多中段同时回采条件下,随着开挖深度的增加,将会出现760中段和720中段2个水平矿柱.水平矿柱何时形成与破坏,以及如何在保证开采安全的前提下最大限度地回收矿柱,是矿山目前遇到的难题.采用Flac3D数值模拟软件,分析了矩形进路采场结构条件下水平矿柱形成与破坏过程,得出当720中段未开挖矿体厚度为24 m时,水平矿柱形成;厚度减小为21 m时,水平矿柱完全被破坏.然后模拟分析采用六边形进路开采过程,最终提出毛坪铅锌矿应用下向水平分层六边形进路式胶结充填采矿法能够保证水平矿柱回采过程稳定,最大程度回收水平矿柱资源,为矿山生产提供指导.

关键词: 下向分层充填采矿法 , 矩形进路 , 六边形进路 , 数值模拟 , 水平矿柱 , Flac3D软件

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