代海洋
,
陈镇平
,
程学瑞
,
翟凤潇
,
苏玉玲
功能材料
分别以氩气-甲烷、氩气-乙炔为辅助气体,高纯石墨为靶材,利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术制备了类金刚石薄膜.采用Raman光谱、X射线光电子能谱、纳米压痕测试仪、原子力显微镜对所制备类金刚石薄膜的键结构、机械性能、表面形貌进行了分析.Raman光谱和X射线光电子能谱测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体...
关键词:
类金刚石薄膜
,
辅助气体组成
,
中频脉冲非平衡磁控溅射技术
,
结构
,
性能
程学瑞
,
戚泽明
,
张国斌
,
李亭亭
,
贺博
,
尹民
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00468
采用脉冲激光沉积方法(PLD)在Si(100)衬底上生长了HfO2栅介质薄膜.利用X射线衍射(XRD)和扩展X射线吸收精细结构(EXAFS)对其结构进行了表征,利用远红外光谱对其声子振动模式和介电性质进行了研究.结果表明,室温下制备薄膜为非晶,衬底温度400℃时已经形成单斜相的HfO2薄膜,1000...
关键词:
HfO2薄膜
,
高介电常数栅介质
,
脉冲激光沉积
,
声子
张焕君
,
程学瑞
,
任宇芬
人工晶体学报
采用采用水热法,以La(NO3)3·6H2O和NaVO3为前驱物,合成了单斜相和四方相LaVO4.采用X射线衍射和拉曼光谱研究了pH值和退火处理对LaVO4晶体结构和荧光性能的影响.结构表明,前驱溶液的pH值对LaVO4晶体结构有重要影响,pH≤5.0时,生成物为单斜相M-LaVO4.当pH≥7.0...
关键词:
LaVO4
,
水热法
,
荧光
,
拉曼光谱
