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薄膜理想台阶的制备方法研究

付文博 , 梁建华 , 王维笃 , 周晓松 , 杨本福 , 程贵均

表面技术

目的 研究台阶的形貌对台阶仪测试的影响,准确测试薄膜的厚度.方法 分析制备台阶中存在的问题,针对这些问题设计了中轴线位置带掩膜条的掩膜板,并采用该新型掩膜板,在不同衬底上制备台阶,用台阶仪对薄膜的厚度进行测定.结果 在薄膜中轴线附近做出的台阶,坡度陡峭,上下表面清晰.Mo衬底上制备出的薄膜厚度重复性...

关键词: 薄膜 , 膜厚 , 边缘效应 , 理想台阶 , 粗糙度