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工艺参数对磁控溅射ZrN膜耐腐蚀性能的影响

孙维连 , 程越 , 王会强 , 李新领 , 孙铂

材料保护

为寻求真空磁控溅射ZrN膜耐蚀性与其溅射工艺间的规律，在1Cr18Ni9Ti不锈钢表面以不同的工艺参数真空磁控溅射了系列ZrN膜。通过中性盐雾试验确定了不同工艺参数所得ZrN膜的耐蚀性等级。结果表明：ZrN膜耐蚀性随N2流量的增加先增加，但超过15mL／min后，膜的耐蚀性反而下降；ZrN膜耐蚀性随...

关键词: 真空磁控溅射 , 工艺参数 , ZrN膜层 , 耐蚀性