程铁栋
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唐新桂
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匡淑娟
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熊惠芳
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刘秋香
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蒋艳平
稀有金属材料与工程
采用溶胶-凝胶法(sol-gel),以LaNiO3(LNO)为底电极在/Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上生长了(Pb1-xLax)Ti1-x/4O3(x=28 mol%,简称PLT)薄膜.经过600℃快速退火.从而得到了多晶钙钛矿结构PLT薄膜.薄膜漏电流和电压极性有关,当在Pt电极或LNO电极施加负偏压时,在低电场作用下,Pt/PLT和PLT/LNO界面分别形成肖特基势垒和欧姆接触;在高电场作用下,Pt/PLT和PLT/INO界面的漏电流均呈现空间电荷限制电流导电机制.这是因为用金属氧化物LNO做底电极的缘故.
关键词:
PLT薄膜
,
界面特性
,
漏电流
,
肖特基发射
,
空间电荷限制电流
程铁栋
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杨丽荣
,
唐新桂
,
易见兵
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.04.004
用sol-gel方法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备了具有LaNiO3(LNO)缓冲层的(Pb0.5Sr0.5)TiO3(PSrT50)/LNO/Pt异质结构铁电薄膜.X射线分析发现PSrT50薄膜在(100)方向高度取向,同时扫描电镜图像显示薄膜结构致密、表面平整.通过和直接在Pt上制备的、相同厚度的PSrT50薄膜比较,PSrT50/LNO/Pt结构薄膜在室温下具有更大的剩余极化(Pr=4.5 μC/cm2)和更高的介电常数(εr=850).同时,漏电流机理分析表明,PSrT50/LNO/Pt结构薄膜在低电场作用下呈现Pool-Frenkel发射效应,在高电场作用下则表现为空间电荷限制电流.
关键词:
PSrTS0薄膜
,
介电常数
,
漏电流
,
Pool-Frenkel发射
