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剧烈-温和阳极氧化结合法快速制备有序阳极氧化铝膜的研究

郝爱文 , 黄丽清 , 程龙 , 李新 , 张薇薇 , 单冬至 , 冯雪红

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2014.13525

本研究采用剧烈-温和阳极氧化(hard anodization-mild anodization, HA-MA)结合快速制备高度有序多孔阳极氧化铝(porous anodic alumina, PAA)膜的方法,即先利用HA在铝表面快速形成有序凹坑阵列,然后再对表面留有有序凹坑的铝基进行温和阳极氧化,制备出有序PAA膜。研究了剧烈阳极氧化时氧化电压、氧化时间对所制备PAA膜有序度的影响。研究结果表明, HA-MA结合法制备PAA膜的优化HA参数为:0.3 mol/L硫酸、80 V、10 min。HA-MA结合法所制备PAA膜的有序性和机械稳定性与二步温和阳极氧化法的相近,但形成有序PAA膜所需的时间为4.5 h,约为温和阳极氧化法的1/4,极大地提高了高度有序PAA膜的制备效率。

关键词: 多孔阳极氧化铝 , 温和阳极氧化法 , 剧烈阳极氧化法 , 剧烈-温和阳极氧化结合法

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