陈杨
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穆为彬
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陈志刚
中国有色金属学报
以经过聚乙烯吡咯烷酮(PVP)进行表面修饰的聚苯乙烯(PS)微球为内核，在碱性条件下采用溶胶?凝胶法在PS微球直接包覆SiO 2，制备有机/无机PS/SiO 2复合微球，通过控制反应体系中正硅酸乙酯(TOES)的浓度来控制复合微球中氧化硅的质量分数，并借助原子力显微镜(AFM)考察了PS/SiO 2复合磨料对硅热氧化片的抛光特性，初步分析有机/无机复合磨料的非刚性力学特性对抛光质量的影响。透射电镜(TEM)结果显示：复合微球具有草莓状核壳包覆结构，其氧化硅壳层是由SiO 2纳米颗粒所组成；热失重分析(TGA)表明：样品中氧化硅含量为12%~69%(质量分数)。AFM测试结果表明：复合磨料中氧化硅的含量对抛光后晶片的微观形貌、粗糙度及表面轮廓具有明显的影响。
关键词:
核壳结构
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复合微球
,
磨料
,
聚苯乙烯
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氧化硅
