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网状阴极法在碳钢表面沉积氮化钽薄膜的研究

窦瑞芬 , 田林海 , 潘俊德 , 陈飞 , 赵晋香

材料热处理学报 doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2002.02.014

介绍了一种在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的新方法--网状阴极法.其设备简单、价格低廉.实验中发现,在工艺参数调配合适的条件下,可制备出结构为面心立方和密排六方结构的氮化钽薄膜.薄膜较致密且均匀,与基体结合良好.分析了优选工艺参数条件下合成的氮化钽膜的成分、组织、表面和断口形貌及结合力.

关键词: 网状阴极溅射 , 空心阴极效应 , 氮化钽薄膜

网状阴极辉光放电法在钛合金表面渗镀Ta的应用

陈飞 , 张跃飞 , 潘俊德 , 唐宾 , 窦瑞芬 , 徐重

稀有金属材料与工程

设计了一种网状阴极溅射靶,它是由多个空心阴极并列交叉组合而成.结构简单,溅射率高.将其用于双层辉光离子渗钽中,在钛合金(Ti-6Al-4V)表面可形成纯Ta沉积层和合金扩散层的复合层组织,进一步提高了钛合金的 耐蚀性,是一种高耐蚀合金.

关键词: Ti-6Al-4V , 阴极溅射 , 渗镀钽

用网状阴极法在碳钢表面沉积氮化钽薄膜

窦瑞芬 , 田林海 , 潘俊德 , 陈飞 , 赵晋香

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2002.05.010

介绍了一种新型的在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的方法 --网状阴极法.其设备简单、价格低廉.实验中发现,在各个参数配比合适的条件下,可制备出结构为fcc(面心立方)和hex(密排六方)的氮化钽薄膜.薄膜较致密且均匀,与基体的结合好 .同时分析了在最佳工艺参数条件下合成氮化钽膜的成分、组织、表面、断口形貌和结合力等.该方法为氮化钽薄膜作为结构材料使用提供了一种新的途径.

关键词: 网状阴极溅射 , 空心阴极效应 , 氮化钽薄膜

网状阴极溅射法在钛合金表面渗镀Ta的耐蚀性研究

陈飞 , 潘俊德 , 窦瑞芬 , 张跃飞 , 唐宾 , 徐重

材料热处理学报 doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2002.01.015

研究设计了一种网状阴极溅射靶,它是由多个空心阴极并列交叉组合而成.结构简单,溅射率高.将其用于双层辉光离子渗钽中,在钛合金 TC4(Ti-6Al-4V)表面可形成纯Ta沉积层和合金扩散层的复合层组织,进一步提高了钛合金的耐蚀性,是一种高耐蚀合金.

关键词: TC4(Ti-6Al-4V) , 阴极溅射 , 渗镀钽

网状阴极法在碳钢表面沉积钽薄膜

窦瑞芬 , 田林海 , 潘俊德 , 贺琦

中国有色金属学报

介绍了一种新型的在钢铁基体上制备钽薄膜的方法. 该方法用网状钽片作阴极, 它既是放电气体的离解源, 又是沉积钽膜的钽离子供给源, 其设备简单、价格低廉. 实验中发现, 在各个参数配比合适的条件下, 可制备出结构为bcc(体心立方)和tetragonal(四方晶系)的钽薄膜. 薄膜较致密且均匀, 与基体的结合好. 同时分析了在最佳工艺参数条件下合成钽膜的组织结构、表面和断口形貌、结合力等.

关键词: 网状阴极溅射 , 空心阴极效应 , 钽薄膜

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