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保温时间对定向凝固法提纯多晶硅的影响

林涛 , 孙艳辉 , 段春艳 , 章大钧

材料科学与工程学报 doi:10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2016.04.027

本文采用# 3303工业硅作为定向凝固的原料提纯多晶硅锭.实验过程中保持拉锭速度和冷却水流量为常数,并分别以不同的保温时间作为试验参数进行实验.采用金相显微镜(Metalloscope)和扫描电子显微镜(SEM)对硅锭微观形貌进行表征,结果显示,硅锭的底部杂质含量最少.定向凝固过程中杂质从硅锭的底部...

关键词: 保温时间 , 定向凝固 , 多晶硅 , 提纯