蒋勇
,
袁晓东
,
祖小涛
,
向霞
,
徐世珍
,
吕海兵
,
章春来
,
尹伟
,
陈猛
,
王成程
材料导报
介绍了熔石英亚表面缺陷(SSD)的深度分布与粒径的量化关系及表面粗糙度的量化,以及杂质引起热破坏、裂纹导致电场增强、缺陷导致机械性能弱化3种诱导熔石英损伤的机理.还介绍了氢氟酸(HF)刻蚀和激光预处理2种非常有效的控制熔石英亚表面缺陷的技术,并对熔石英亚表面缺陷研究现状、存在问题和发展趋势进行了简要的总结和展望.
关键词:
亚表面缺陷
,
缺陷量化
,
损伤机理
,
HF酸刻蚀
,
激光预处理
罗成思
,
袁晓东
,
刘春明
,
向霞
,
章春来
,
吕海兵
,
祖小涛
材料导报
CO2激光对熔石英损伤修复的机理主要是通过激光的热效应使表面发生熔融,对损伤处起到弥合作用使元件的表面结构趋于完整.近几年CO2激光修复的方法按激光扫描方式可以分为光栅式扫描法和振镜扫描法.利用逐渐提高功率的扫描方式可以有效减少修复过程中气泡的产生,用高温退火的方式可以完全消除或者消除大部分修复后产生的应力,这取决于损伤点的尺寸.多种处理工艺相结合的方法可以有效提高修复后的损伤阈值.
关键词:
熔石英
,
CO2激光
,
激光诱导损伤
,
损伤修复
