材料期刊网

溅射压强对W掺杂ZnO薄膜结构及光学性能的影响

郭胜利 , 胡跃辉 , 胡克艳 , 陈义川 , 范建彬 , 徐承章 , 童帆

人工晶体学报

在不同溅射压强下,通过射频(RF)磁控溅射在石英玻璃衬底上沉积得到W掺杂ZnO薄膜(WZO).对样品的结晶性能,表面形貌和光学性能进行测试分析,结果表明:在适当溅射压强下,薄膜具有良好的结晶性和光学性能.随着溅射压强的增加,薄膜的结晶性先变好后变差,晶粒尺寸先增大后减小,在1.0 Pa时薄膜的结晶性...

关键词: 溅射压强 , ZnO薄膜 , W掺杂 , 光致发光