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电泳沉积法制备Ba_0.6Sr_0.4TiO₃厚膜及其电学性能研究

符云飞 , 樊慧庆 , 邓永丽 , 陈晋

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00687

采用电泳沉积法在Pt/Ti/SiO₂/Si基底上制备了厚度为33μm的Ba_0.6Sr_0.4TiO₃(BST40)厚膜, 研究了其介电调谐特性、漏电流特性和铁电特性. 实验结果表明: 采用水热法制备纳米BST40粒子, 经250MPa高压压制, 950℃热处理后, BST40厚膜可形成完整的立方钙钛矿结构且表面致密、无裂纹. ε-V特性表明, 1kHz时厚膜调谐率可达59.2％. I-V特性表明, 当电压从--25～25V变化时, 漏导电流<100μA/cm². 测量了在1kHz, 不同温度下厚膜的电滞回线. 在0℃时, 其剩余极化强度为1.06μC/cm².

关键词: BST厚膜 , EPD , tunability , remnant polarization

电泳沉积法制备Ba0.6Sr0.4TiO3厚膜及其电学性能研究

符云飞 , 樊慧庆 , 邓永丽 , 陈晋

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2008.04.010

采用电泳沉积法在Pt/Ti/SiO2/Si基底上制备了厚度为33μm的Ba0.6Sr0.4TiO3(BST40)厚膜,研究了其介电调谐特性、漏电流特性和铁电特性.实验结果表明:采用水热法制备纳米BST40粒子,经250MPa高压压制,950°C热处理后,BST40厚膜可形成完整的立方钙钛矿结构且表面致密、无裂纹. ε-V特性表明,1kHz时厚膜调谐率可达59.2%.Ⅰ-Ⅴ特性表明,当电压从-25～25V变化时,漏导电流100μA/cm2.测量了在1kHz,不同温度下厚膜的电滞回线.在0°C时,其剩余极化强度为1.06μC/cm2.

关键词: BST厚膜 , 电泳沉积 , 调谐率 , 电滞回线

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