符云飞
,
樊慧庆
,
邓永丽
,
陈晋
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2008.04.010
采用电泳沉积法在Pt/Ti/SiO2/Si基底上制备了厚度为33μm的Ba0.6Sr0.4TiO3(BST40)厚膜,研究了其介电调谐特性、漏电流特性和铁电特性.实验结果表明:采用水热法制备纳米BST40粒子,经250MPa高压压制,950°C热处理后,BST40厚膜可形成完整的立方钙钛矿结构且表面...
关键词:
BST厚膜
,
电泳沉积
,
调谐率
,
电滞回线
