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等离子体辅助有机金属(CH_3)_3Ga化学气相沉积GaN薄膜

郭超峰 , 陈俊芳 , 符斯列 , 薛永奇 , 王燕 , 邵士运 , 赵益冉

材料导报

采用ECR等离子体辅助技术,融合化学气相沉积法,在450℃的相对低温条下于Si(100)衬底上生长出GaN薄膜.对样品进行了XRD、FT-IR和AFM表征,并在制备过程中采集到反应室中N_2-(CH_3)_3Ga等离子体的发射光谱.结果表明,所制备的多晶体GaN薄膜是由N_2-(CH_3)_3Ga等...

关键词: 等离子体 , 化学气相沉积 , GaN , 反应 , 生长机制

高压强下GaN的结构相变及电子结构的第一性原理研究

李健翔 , 符斯列 , 蒋联娇 , 马娟娟 , 詹吉玉

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2015.22.031

基于密度泛函理论的平面波赝势方法,选择广义梯度近似(GGA)下的PBE算法-关联泛函对GaN晶体结构、能带结构以及电子态密度随压强的变化进行了研究,并计算出GaN材料的相变点压强值.研究结果表明:随着压强增加,常见的纤锌矿与闪锌矿GaN会发生结构相变成岩盐矿结构,并且其能带结构均由直接带隙转变成间接...

关键词: 第一性原理 , GaN , 结构相变 , 电子结构

用ECR氮等离子对纳米TiO2薄膜光谱响应改性的研究

孔令红 , 熊予莹 , 符斯列 , 陈俊芳 , 吴先球 , 唐吉玉

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.03.022

采用ECR氮等离子对纳米TiO2薄膜表面进行氮注入处理来改善纳米TiO2催化剂的光谱响应范围.处理后表面颜色变成微黄色,说明氮离子已注入到TiO2薄膜里;AFM观察处理前后的薄膜,发现表面形貌没有很大改变;紫外-可见光谱分析结果表明,TiO2薄膜催化剂的光谱响应红移了12-18nm;通过不同功率、不...

关键词: ECR氮等离子体 , 光谱响应 , TiO2薄膜 , 紫外-可见光谱分析 , AFM

N空位、Ga空位对GaN∶Mn体系电磁性质和光学性质影响的第一性原理研究?

蒋联娇 , 符斯列 , 秦盈星 , 李健翔

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.12.023

基于密度泛函理论的第一性原理平面波超软赝势法分别计算了 VGa和 VN 距掺入 Mn 原子为近邻、次近邻、远近邻各3种情况下GaN体系的电子结构和光学性质,分析比较了空位的不同位置对 Mn 掺杂 GaN 体系磁性的影响。计算结果表明,Mn掺杂会导致GaN体系带隙增大且体系表现为半金属铁磁性；VN 的...

关键词: GaN晶体 , Mn掺杂 , 空位 , 电子结构 , 光学性质

气压对离子源增强磁控溅射制备氮化铝薄膜的影响

李鹏飞 , 陈俊芳 , 符斯列

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2016.04.023

目的 制备性能优异的氮化铝薄膜.方法 采用射频感应耦合离子源辅助直流磁控溅射的方法 制备氮化铝薄膜,在不同的气压下,在Si(100)基片和普通玻璃上生长了不同晶面取向的氮化铝薄膜.使用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)分析氮化铝薄膜的结构、晶面取向、表面形貌...

关键词: 气压 , 磁控溅射 , 氮化铝薄膜 , 离子源 , 粗糙度 , 直接带隙

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