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纪世阳 , 李牧菊 , 王宗凯 , 杨柏梁
液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2001.03.007
针对多晶硅薄膜晶体管液晶显示器件关态漏电流较大的问题, 采用源漏轻掺杂结构以降低关态时电荷的泄漏, 增加晶体管的开关电流比值. 通过模拟轻掺杂区不同的物理参数, 如掺杂浓度及掺杂区宽度等, 研究薄膜晶体管的开关电流比值. 由此确定像素各部分的尺寸, 对液晶显示器件进行优化设计.
关键词: 液晶显示 , 多晶硅薄膜晶体管 , 优化设计 , 源漏轻掺杂液
纪世阳 , 李牧菊 , 杨柏梁
液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2001.02.008
采用同型结模型模拟计算了源漏轻掺杂结构的关态漏极电流， 同时考虑热电子效应修正漏极电流模拟结果， 使漏极电流降低到10-11A量级， 晶体管的开关电流比值达到106量级。 模拟研究掺杂区浓度和宽度与多晶硅薄膜晶体管开关电流比的变化关系。
关键词: 轻掺杂 , 多晶硅薄膜晶体管 , 同型结 , 热电子 , 漏电流
