欢迎登录材料期刊网
罗俊一 , 沈益军 , 李刚 , 刘培东 , 张锦心 , 包宗明 , 黄宜平
材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2001.01.018
铁杂质是硅片制造过程中常见的重金属沾污，表面光电压(SPV)法可很好地用于测定P型硅中铁杂质。本文通过SPV法测试不同流程制造的P型抛光硅片中的铁沾污，找到了在P型抛光硅片制造工艺过程中引入铁沾污的主要来源。
关键词: 表面光电压法 , 铁杂质 , 抛光硅片
