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快速热处理对PZT薄膜的微结构及电性能的影响

程晋荣 , 罗来青 , 孟中岩

功能材料

采用改进的溶胶一凝胶技术,在Pt/Ti/TiO2/SiO2/Si(100)基片上制备了压电PZT薄膜,用XRD和APM技术分析了不同热处理工艺条件下PZT薄膜的微观形貌变化及相结构演化,系统测试了PZT薄膜的铁电性能.工艺-结构-性能研究结果表明:快速热处理工艺(RTA)有利于PZT薄膜保持较低的漏...

关键词: 溶胶-凝胶 , 快速热处理 , PZT薄膜 , 铁电性能