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吴大维 , 张志宏 , 罗海林 , 郭怀喜 , 范湘军
材料研究学报
采用直流反应磁控溅射法淀积ZrN薄膜发现在(100)晶向硅片上ZrN薄膜按(111)晶向生长,控制生长工艺可以获得ZrN(111)晶向的外延生长膜.
关键词: ZrN薄膜 , null , null , null
常玉春 , 罗海林 , 王玉琦
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.03.034
提出了一种具有穿通基区的Si双极晶体管光探测器.通过优化器件结构参数,使基区在工作时完全耗尽,从而得到大的光增益和小的噪声电流.实验测光电转换增益大于150,000;器件具有良好的噪声特性,噪声功率与器件的直流偏置电流成正比,即(in2)=2qIcΔf.
关键词: 光电晶体管 , 光探测器 , 穿通基区 , 噪声 , 双极晶体管
