翁卫祥
,
于光龙
,
贾贞
,
李昱
,
郭太良
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20112602.0183
采用Al作为Cu导电层的主要防氧化保护层,在普通浮法玻璃上利用磁控溅射和湿法刻蚀技术制备Cr/Cu/Al/Cr复合薄膜及其电极,研究不同的热处理温度对复合薄膜及其电极的结构、表面形貌和导电性能的影响.由于有Al层作为保护层,在热处理过程中,Al先与穿过Cr保护层的氧进行反应,从而可以更有效地保护Cu...
关键词:
Cr/Cu/Al/Cr薄膜
,
薄膜电极
,
表面形貌
,
防氧化性能
