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AgInSbTe相变薄膜的热刻蚀腐蚀特性

李豪 , 耿永友 , 吴谊群

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2012.00620

研究了AgInSbTe相变薄膜作为一种新的热刻蚀材料的腐蚀特性。采用射频磁控溅射的方法在室温下制备了非晶态AgInSbTe薄膜, 经真空加热退火晶化. 以氢氧化钠溶液作为腐蚀剂, 研究了退火温度、腐蚀剂浓度、腐蚀时间对晶态、非晶态 AgInSbTe薄膜腐蚀特性的影响. 结果表明: 以非晶态形式存在的沉积态AgInSbTe薄膜在0.001 mol/L氢氧化钠溶液中腐蚀速度小于0.04 nm/min, 退火晶化后, 薄膜的腐蚀速度大幅度提高, 晶态和非晶态薄膜的腐蚀选择比随退火温度的升高而增大. 当腐蚀时间为20 min时, 经300℃真空退火的晶态AgInSbTe薄膜比相应非晶态的腐蚀速度高45倍以上. 腐蚀后薄膜表面质量良好(粗糙度＜1 nm, 10 μm×10 μm区域). 并对AgInSbTe相变薄膜的腐蚀机理进行了讨论.

关键词: AgInSbTe相变薄膜; 无机热刻蚀材料; 腐蚀特性

用于蓝光可录存储的无机材料研究进展

周莹 , 耿永友 , 顾冬红

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2006.05.037

蓝光存储是信息存储领域发展的一个重要方向.用于蓝光存储的可录型光盘,由于其巨大的商业价值,将是今后研究的热点.本文总结了近几年来国内外文献报道的适用于蓝光可录存储的无机材料的最新研究成果,详细阐述了用于蓝光可录存储的无机薄膜的制备方法、无机记录材料的种类及存储原理.最后,对用于蓝光可录存储的无机材料今后的发展前景进行了展望.

关键词: 蓝光存储 , 可录光盘 , 无机记录材料 , 存储原理

AgInSbTe相变薄膜的热刻蚀腐蚀特性

李豪 , 耿永友 , 吴谊群

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2012.00620

研究了AgInSbTe相变薄膜作为一种新的热刻蚀材料的腐蚀特性.采用射频磁控溅射的方法在室温下制备了非晶态AgInSbTe薄膜,经真空加热退火晶化.以氢氧化钠溶液作为腐蚀剂,研究了退火温度、腐蚀剂浓度、腐蚀时间对晶态、非晶态AgInSbTe薄膜腐蚀特性的影响.结果表明:以非晶态形式存在的沉积态AgInSbTe薄膜在0.001 mol/L氢氧化钠溶液中腐蚀速度小于0.04 nm/min,退火晶化后,薄膜的腐蚀速度大幅度提高,晶态和非晶态薄膜的腐蚀选择比随退火温度的升高而增大.当腐蚀时间为20 min时,经300℃真空退火的晶态AgInSbTe薄膜比相应非晶态的腐蚀速度高45倍以上,腐蚀后薄膜表面质量良好(粗糙度＜1 nm,10 μm×10 μm区域).并对AgInSbTe相变薄膜的腐蚀机理进行了讨论.

关键词: AgInSbTe相变薄膜 , 无机热刻蚀材料 , 腐蚀特性

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