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薄膜硬度计算方法

周亮 , 刘亚龙 , 聂文杰 , 郭永泽

宇航材料工艺 doi:10.3969/j.issn.1007-2330.2010.03.003

为了将薄膜本征硬度从所测复合硬度中提取出来,目前有很多计算或描述的模型和方程.本文介绍了目前提出的计算薄膜硬度的方法和模型,对各方法和模型进行了分析比较,并对其未来发展方向进行了展望.

关键词: 薄膜 , 硬度 , 计算方法