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磨粒尺寸对FAP研抛工件亚表面损伤层深度的影响

戴子华 , 朱永伟 , 王加顺 , 肖仁杰 , 朱琳 , 李军

人工晶体学报

建模分析了固结磨料研抛过程中结构因素与工艺参数对磨粒切入工件深度的影响;采用BOE分步腐蚀法测量了不同磨料粒径FAP研抛后K9玻璃、熔石英玻璃亚表面损伤层深度;建立了亚表面损伤层深度与磨粒粒径之间的相关关系.结果表明:固结磨料研抛条件下,工件亚表面裂纹层深度与工件特性、研抛垫特性及磨粒尺寸相关;基于...

关键词: 亚表面损伤层深度 , 固结磨料研抛 , 磨粒粒径 , 切入深度