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反应溅射Si-C-N薄膜的结构分析

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.01.011

本文用射频反应磁控溅射制备了SiCN薄膜,对薄膜的化学成分、结构进行了研究.结果表明,反应气体N2、Si、C三者之间形成了Si-C、Si-N和C-N键,构成了复杂的网络结构.成分分析表明薄膜的化学计量式近似为SiCN.对比分析了反应溅射制备SiCN、CNx、SiNy和SiCz薄膜的FTIR谱.

关键词: SiCN薄膜 , 结构分析 , XPS , FTIR

不同添加剂对钛酸铝热膨胀系数影响的研究

江伟辉 , 肖兴成 , 周健儿 , 马光华 , 顾幸勇 , 胡行方

无机材料学报

钛酸铝是一种优异的高熔点、低膨胀无机非金属材料．为提高其强度、抑制其热分解，往往在钛酸铝中引入添加剂．本文研究了单一添加剂和复合添加剂对钛酸铝膨胀系数的影响．结果表明：引入少量的稀土元素氧化物能显著降低钛酸铝的热膨胀系数．引入1～4mol％CeO₂或2mol％La_2<...

关键词: 钛酸铝 , thermal expansion coefficient , additives

工艺参数对a-CN_x膜沉积的影响

肖兴成 , 江伟辉 , 宋力昕 , 田静芬 , 胡行方

无机材料学报

研究了基本工艺参数对磁控溅射制备无定形氮化碳（ａ－ＣＮ_x）薄膜沉积的影响．实验结果表明：Ｎ_２流量的增加提高了膜的沉积速率，同时提高了膜中氮含量．溅射功率的提高增加了沉积速率．偏压对硬质膜的制备是一关键的工艺参数，它不仅使薄膜致密、表面光滑...

关键词: a－CN_x膜 , processing parameters , deposition

晶格常数的变化对钛酸铝热稳定性的影响

江伟辉 , 肖兴成 , 周健儿 , 马光华 , 顾幸勇 , 胡行方

无机材料学报

深入研究了晶格常数的变化和钛酸铝热稳定性的关系．通过仔细分析钛酸铝的晶格常数随温度变化的特点，发现钛酸铝的晶格常数Ｃ随温度升高而降低这一反常现象．提出了钛酸铝的稳定性与其晶格常数Ｃ的大小密切相关的论点．在钛酸铝中引入多种添加剂以改变其晶格常数．结果发现晶格常数Ｃ的...

关键词: 钛酸铝 , thermal stability , thermal decomposition , lattice constants

超硬膜的研究进展

肖兴成 , 江伟辉 , 宋力昕 , 胡行方

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.1999.05.001

本文简要总结了近年来超硬膜研究领域中的一些最新进展, 包括超硬膜硬度的理论研究和轻元素组成的超硬膜、纳米复合膜、纳米多层膜以及它们力学性能增强效应的理论解释. 对超硬膜以后的发展趋势提出了自己的一些见解.

关键词: 超硬膜 , 硬度 , 力学性能增强效应

固溶体类型对钛酸铝热稳定性的影响

江伟辉 , 肖兴成 , 周健儿 , 马光华 , 顾幸勇 , 胡行方

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.1999.05.016

本文采用添加剂与钛酸铝形成不同类型的固溶体的方法, 研究了固溶体类型对钛酸铝热稳定性的影响. 结果表明:无论是在未稳定化的钛酸铝中, 还是在用Fe2O3稳定的钛酸铝中,形成连续固溶体对抑制钛酸铝热分解的效果最佳,而填隙固溶体和有限置换固溶体的稳定效果不如连续固溶体的好,相比之下,形成不等价态置换固溶...

关键词: 钛酸铝 , 热稳定性 , 热分解 , 固溶体

艺参数对 a-CNx膜沉积的影响

肖兴成 , 江伟辉 , 宋力昕 , 田静芬 , 胡行方

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.01.033

研究了基本工艺参数对磁控溅射制备无定形氮化碳(a-CNx)薄膜沉积的影响. 实验结果表明: N2流量的增加提高了膜的沉积速率,同时提高了膜中氮含量. 溅射功率的提高增加了沉积速率. 偏压对硬质膜的制备是一关键的工艺参数,它不仅使薄膜致密、表面光滑,而且还可以提高膜中的N含量.

关键词: a-CNx膜 , 工艺参数 , 沉积

晶格常数的变化对钛酸铝热稳定性的影响

江伟辉 , 肖兴成 , 周健儿 , 马光华 , 顾幸勇 , 胡行方

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.01.029

深入研究了晶格常数的变化和钛酸铝热稳定性的关系. 通过仔细分析钛酸铝的晶格常数随温度变化的特点,发现钛酸铝的晶格常数c随温度升高而降低这一反常现象. 提出了钛酸铝的稳定性与其晶格常数c的大小密切相关的论点. 在钛酸铝中引入多种添加剂以改变其晶格常数. 结果发现晶格常数c的大小反映了钛酸铝的稳定性. ...

关键词: 钛酸铝 , 热稳定性 , 热分解 , 晶格常数

不同添加剂对钛酸铝热膨胀系数影响的研究

江伟辉 , 肖兴成 , 周健儿 , 马光华 , 顾幸勇 , 胡行方

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.03.010

钛酸铝是一种优异的高熔点、低膨胀无机非金属材料.为提高其强度、抑制其热分解,往往在钛酸铝中引入添加剂.本文研究了单一添加剂和复合添加剂对钛酸铝膨胀系数的影响.结果表明:引入少量的稀土元素氧化物能显著降低钛酸铝的热膨胀系数.引入14mol%CeO2或2mol%La2O3可使钛酸铝的膨胀系数降至接近于零...

关键词: 钛酸铝 , 热膨胀系数 , 添加剂

溅射工艺对SiCN薄膜沉积及光性能的影响

肖兴成 , 宋力昕 , 江伟辉 , 彭晓峰 , 胡行方

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.04.024

本文利用射频磁控溅射工艺制备了SiCN薄膜，研究了基本工艺参数如溅射功率、N分压对薄膜沉积和光学性能的影响. 研究结果表明：溅射制备的薄膜中形成了复杂的网络结构，膜中三元素Si、C和N两两之间形成了共价键. N分压的提高降低了薄膜的沉积速率. N流量的提高使光学带隙增大. 溅射功率的提高使薄膜的沉积...

关键词: SiCN薄膜 , 磁控溅射 , FTIR , 光学带隙

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反应溅射Si-C-N薄膜的结构分析

不同添加剂对钛酸铝热膨胀系数影响的研究

工艺参数对a-CN_x膜沉积的影响

晶格常数的变化对钛酸铝热稳定性的影响

超硬膜的研究进展

固溶体类型对钛酸铝热稳定性的影响

艺参数对 a-CNx膜沉积的影响

晶格常数的变化对钛酸铝热稳定性的影响

不同添加剂对钛酸铝热膨胀系数影响的研究

溅射工艺对SiCN薄膜沉积及光性能的影响

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