肖剑荣
,
蒋爱华
材料导报
氮化铜(Cu_3N)薄膜是一种新型的电、光学材料,它具有典型的反三氧化铼结构,由于Cu原子没有很好地占据(111)晶格面的紧密位置.在薄膜中掺杂之后,薄膜的电、光学性质会发生显著变化.Cu_3N在较低温度下会分解为Cu和N_2.介绍了Cu_3N的制备方法,总结了该膜制备方法和工艺参数对薄膜结构的影响...
关键词:
氮化铜薄膜
,
光学带隙
,
热稳定性
,
磁控溅射
刘雄飞
,
高金定
,
肖剑荣
,
张云芳
,
周昕
绝缘材料
doi:10.3969/j.issn.1009-9239.2004.04.012
以CH4和CF4的混合气体作源气体,利用等离子体增强型化学气相沉积法(PECVD),改变射频功率,制备了一批氟化非晶碳薄膜样品.用原子力显微镜(AFM)观察了薄膜的表面形貌,发现随着射频功率增大,薄膜均匀性变差,掩蔽效应作用加剧.FITR光谱分析表明:薄膜中主要含有CFx和C=C键,较低功率下沉积的...
关键词:
射频功率
,
氟化非晶碳薄膜
,
微观性能
肖剑荣
,
徐慧
,
李幼真
,
刘雄飞
,
马松山
,
简献忠
中国有色金属学报
使用CF4和CH4为源气体,利用射频等离子体增强化学气相沉积法,制备了a-C:F:H薄膜样品.采用拉曼光谱仪、傅里叶变换红外光谱仪、X射线光电子能谱仪(XPS)对薄膜的结构进行了测试和分析.研究发现:该膜呈空间网状结构,膜内碳与氟、氢的结合主要以sp3形式存在,而sp2形式的含量相对较少;在薄膜内主...
关键词:
a-C:F:H薄膜
,
等离子体增强化学气相沉积
,
低介电常数
,
化学键
刘雄飞
,
肖剑荣
,
李幼真
,
张云芳
材料导报
氟化非晶碳(a-C:F)薄膜是一种电、光学新材料.介绍了它的制备方法,对其制备工艺作了较全面的探讨;分析了该膜制备方法和工艺参数对薄膜组分及化学键结构的影响;研究了该膜的电学、光学、热学、力学等物理性质及其在相关方面的应用,并对该膜的物理性质与制备工艺参数的关联作了详细的论述;指出介电常数和热稳定性...
关键词:
氟化非晶碳薄膜
,
介电常数
,
光学带隙
,
热稳定性
,
化学气相沉积
刘小良
,
徐慧
,
马松山
,
肖剑荣
材料导报
按照一般的无序理论,在非关联一维无序材料中不存在扩展态,在绝对零度下,电子的波函数是局域的,系统表现为绝缘体.在关联无序系统中,格点能量之间的长程关联,即对角关联,能导致扩展的波函数并由此导致系统的导电性.当关联强度于某一阈值,可以发现在热力学极限之下有存在于较宽能带范围内的扩展态,此阈值即为体系的...
关键词:
无序
,
关联
,
长程跳跃
,
金属-绝缘体转变
赵航
,
肖剑荣
,
蒋皓宇
,
王宏哲
,
李延伟
稀有金属材料与工程
通过密封加热熔融的方式制备了添加CNT的活性炭/硫锂离子电池正极活性材料,并对其进行PEG包覆复合改性,制备了C-CNT/S(PEG)正极复合材料.X射线衍射(XRD)图谱显示复合材料具有较强的非晶结构,且单质硫分散在碳材料的微孔之中.扫描电镜(SEM)显示CNT均匀分散在复合材料之中,并形成了三维...
关键词:
CNT
,
包覆
,
PEG
,
锂硫电池
,
正极材料
