何建廷
,
庄惠照
,
薛成山
,
田德恒
,
吴玉新
,
刘亦安
,
胡丽君
,
薛守斌
功能材料
用脉冲激光沉积法(PLD)在n型硅(111)平面上生长ZnO薄膜.X射线衍射(XRD)在2θ=34°处出现了唯一的衍射峰,半高宽为0.75°;傅里叶红外吸收(FTIR)在414.92cm-1附近出现了对应Zn-O键的红外光谱的特征吸收峰;光致发光(PL)测量发现了位于370和460nm处的室温光致发...
关键词:
PLD
,
ZnO
,
薄膜
,
六方纤锌矿结构
庄惠照
,
何建廷
,
薛成山
,
张晓凯
,
田德恒
,
胡丽君
,
薛守斌
稀有金属材料与工程
在不同衬底温度下用脉冲激光沉积法(PLD)在n型硅(111)衬底上生长ZnO薄膜.通过对薄膜进行的X射线衍射(XRD)、傅里叶红外吸收(FTIR)、光致发光谱(PL)、透射电子显微镜(TEM)和选区电子衍射(SAED)的测量,研究了衬底温度对PLD方法制备的ZnO薄膜的结晶质量、发光性质以及微观结构...
关键词:
PLD
,
ZnO
,
薄膜
,
六方纤锌矿结构
庄惠照
,
薛守斌
,
薛成山
,
张晓凯
,
滕树云
,
胡丽君
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.03.005
本文通过在ZnO/Si(111)衬底上,利用JCK-500A型射频磁控溅射系统溅射氧化镓靶得到氧化镓薄膜.然后将硅基Ga2O3置于管武石英炉中,在850℃的氨化温度下氨化15min后,成功制备出GaN薄膜,该薄膜由正六边形的晶粒组成.X射线衍射(XRD)表明GaN具有六方纤锌矿结构,晶格常数为a=0...
关键词:
氨化法
,
氮化镓薄膜
,
氧化镓薄膜
,
正六边形结构晶粒
庄惠照
,
胡丽君
,
薛成山
,
薛守斌
功能材料
采用磁控溅射的方法在Si(111)衬底上溅射沉积了Ga2O3/Al膜,并通过氨化的方法在Si(111)衬底上获得了GaN纳米结构材料,研究了不同的氨化温度对生成GaN纳米结构材料的影响.对样品进行了傅立叶红外吸收(FTIR)、X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)以及高分辨电镜...
关键词:
Ga2O3/Al膜
,
GaN 纳米棒
,
氨化
,
磁控溅射
